ВОДОРОД В КРЕМНИИ: ФОРМИРОВАНИЕ КОНИЧЕСКИХ СТРУКТУР НА ПОВЕРХНОСТИ ПЛАСТИН
Научная публикация
ВОДОРОД В КРЕМНИИ: ФОРМИРОВАНИЕ КОНИЧЕСКИХ СТРУКТУР   НА ПОВЕРХНОСТИ ПЛАСТИН
Автор(ы): Н. В. Францкевич, С. И. Шеденков, А. В. Францкевич
УДК: УДК 621.315.592
Год издания: 2012
Дата загрузки: 18.04.2014
Загрузил(а): Цылина И. А.

Описание:
На поверхности пластин CZ-Si р-типа формировались конусообразные структуры в резуль- тате имплантации гелия, отжига и обработки в DC-плазме водорода. Структуры изучались мето- дом комбинационного рассеяния и в сканирующем электронном микроскопе. Результаты иссле- дований свидетельствуют о том, что структуры образованы кристаллическим кремнием. Отсут- ствие напряжений в исследуемых структурах говорит о согласованности решеток.

Использование электронных материалов, размещенных на данном сайте, осуществляется на договорной основе. Разрешается использовать ресурсы в единичном экземпляре и исключительно в личных целях.



Физико-математические науки и информатика