ВЛИЯНИЕ ПАРАМЕТРОВ ОСАЖДЕНИЯ НА ТОЛЩИНУ МОДИФИЦИРОВАННОГО СЛОЯ ПРИ ДИНАМИЧЕСКОМ АТОМНОМ ПЕРЕМЕШИВАНИИ Pd/Fe-СТРУКТУР
Научная публикация
ВЛИЯНИЕ ПАРАМЕТРОВ ОСАЖДЕНИЯ НА ТОЛЩИНУ МОДИФИЦИРОВАННОГО СЛОЯ ПРИ ДИНАМИЧЕСКОМ АТОМНОМ ПЕРЕМЕШИВАНИИ Pd/Fe-СТРУКТУР
Автор(ы): В. В. Тульев, И. С. Ташлыков, Д. А. Литвинов
УДК: 539.1.06:539.23.234
Год издания: 2014
Дата загрузки: 04.03.2015
Загрузил(а): Левитская А. А.

Описание:
Методом резерфордовского обратного рассеяния ионов гелия в сочетании с компьютерным моделированием определено, что при осаждении Pd-покрытия на железо методом динамическо- го атомного перемешивания, в котором в качестве ассистирующих ионов использовались ионы Аr + с энергией 6 кэВ, и интегральными потоками (0,7−1,6) ⋅ 1016 ион/cм2 формируется Pd-пленка толщиной ∼(14−23) нм. Установлено, что толщина сформированного покрытия зависит от пара- метра I / A (отношение числа I ассистирующих ионов к числу A атомов осаждаемого покрытия). При расчете толщины пленки необходимо учитывать помимо распыления ассистирующими ио- нами атомов покрытия также распыление атомов подложки.

Использование электронных материалов, размещенных на данном сайте, осуществляется на договорной основе. Разрешается использовать ресурсы в единичном экземпляре и исключительно в личных целях.



Физико-математические науки и информатика