КОМПОЗИЦИОННЫЙ СОСТАВ И ПОВРЕЖДЕНИЕ КРЕМНИЯ ПРИ НАНЕСЕНИИ МЕТАЛЛИЧЕСКИХ (Со, Zr, W) ПОКРЫТИЙ В УСЛОВИЯХ ИОННОГО АССИСТИРОВАНИЯ
Научная публикация
КОМПОЗИЦИОННЫЙ СОСТАВ И ПОВРЕЖДЕНИЕ КРЕМНИЯ ПРИ НАНЕСЕНИИ МЕТАЛЛИЧЕСКИХ (Со, Zr, W) ПОКРЫТИЙ В УСЛОВИЯХ ИОННОГО АССИСТИРОВАНИЯ
Автор(ы): О. Г. Бобрович, И. С. Ташлыков
УДК: 539.211:539.1.06
Год издания: 2015
Дата загрузки: 03.02.2016
Загрузил(а): Левитская А. А.

Описание:
В представленной работе мы исследовали состав, распределение элементов в покрытии,
нанесенном на пластины (100) Si при комнатной температуре, а также дефектообразование в
кристаллах кремния при нанесении металлического (Со, Zr, W) покрытия в условиях ионного
ассистирования. Элементный состав покрытия и распределение элементов по глубине изучали
с применением резерфордовского обратного рассеяния (РОР) ионов гелия, а повреждение струк-
туры кремния − методом просвечивающей электронной микроскопии и методом РОР в сочета-
нии с каналированием (РОР/КИ) ионов гелия. Установлено, что покрытие однородно по составу
по всей толщине. Структура кремния повреждается лишь в начальный момент времени модифи-
цирования образца, когда толщина осаждаемого покрытия меньше пробега ассистирующих
ионов в материале покрытия. Уменьшение ускоряющего напряжения для ассистирующих ионов
Zr+ от 10 до 5 кВ приводит к увеличению толщины покрытия в ∼1,5 раза при одинаковом време-
ни модифицирования образцов кремния. Обнаружена зависимость повреждения структуры
кремния от энергии облучающих ионов Со+, Zr+ и W+. Концентрация смещенных атомов растет с
энергией ионов металла, однако уровень деканалирования за пиком повреждений на спектрах
РОР/КИ уменьшается с увеличением энергии ионов Со+, Zr+ в системах Co − Si, Zr − Si и увели-
чивается с повышением энергии ионов W+ в системе W − Si.

Использование электронных материалов, размещенных на данном сайте, осуществляется на договорной основе. Разрешается использовать ресурсы в единичном экземпляре и исключительно в личных целях.



Физико-математические науки и информатика