Исследование свойств ионноимплантированных фоторезистов методом ЭПР
Научная публикация
Исследование свойств ионноимплантированных фоторезистов методом ЭПР
Автор(ы): Волобуев В. С.
УДК: 537.5
Год издания: 2016
Дата загрузки: 24.08.2016
Загрузил(а): Знайдюк С. Б.

Описание:
Технология органических веществ: тезисы докладов 80-й научно-технической конференции профессорско-преподавательского состава, научных сотрудников и аспирантов (с международным участием)

Использование электронных материалов, размещенных на данном сайте, осуществляется на договорной основе. Разрешается использовать ресурсы в единичном экземпляре и исключительно в личных целях.



ионная имплантацияионноимплантированные фоторезисты