ИССЛЕДОВАНИЕ КОНИЧЕСКИХ СТРУКТУР, СФОРМИРОВАННЫХ НА ПОВЕРХНОСТИ ПЛАСТИН МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ, МЕТОДАМИ КОМБИНАЦИОННОГО РАССЕЯНИЯ И СКАНИРУЮЩЕЙ ЭЛЕКТРОННОЙ МИКРОСКОПИИ
Научная публикация
ИССЛЕДОВАНИЕ КОНИЧЕСКИХ СТРУКТУР, СФОРМИРОВАННЫХ   НА ПОВЕРХНОСТИ ПЛАСТИН МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ,  МЕТОДАМИ КОМБИНАЦИОННОГО РАССЕЯНИЯ   И СКАНИРУЮЩЕЙ ЭЛЕКТРОННОЙ МИКРОСКОПИИ
Автор(ы): Н. В. Францкевич, А. В. Францкевич, А. К. Федотов, А. В. Мазаник
УДК: 621.315.592
Год издания: 2013
Дата загрузки: 18.06.2014
Загрузил(а): Левитская А. А.

Описание:
Проведены исследования методами комбинационного рассеяния и сканирующей электрон- ной микроскопии (СЭМ) конусообразных структур, массив которых образуется на поверхности пластин кремния в результате обработки в плазме кислорода или водорода. Показано, что плот- ность распределения конических образований по поверхности уменьшается с увеличеним дозы предимплантированного гелия и температуры плазменной обработки. Минимальная (0,2 мкм) и максимальная (2 мкм) высота и диаметр получаемых структур от условий плазменной обработки и дозы предимплантированного гелия не зависят. Комбинационным рассеянием не выявлено изменений в кристаллической структуре кремния в дефектной области.

Использование электронных материалов, размещенных на данном сайте, осуществляется на договорной основе. Разрешается использовать ресурсы в единичном экземпляре и исключительно в личных целях.



Физико-математические науки и информатика